中国の大手半導体製造装置メーカーは99％高純度アルミナセラミック棒装置キャビティの中核となる精密支持部品として、従来のステンレス鋼製支持構造に代わるものとして、装置性能と運転効率の二重の向上を実現する。
カスタマイズされた高精度アルミナセラミックロッド滑らかで平坦な表面を持ち、高剛性、低熱膨張係数、耐プラズマ腐食性、高絶縁性、低粉塵沈着性といったコア特性を兼ね備え、エッチング装置のクリーンで高精度かつ連続運転という過酷な作業条件に完璧に適合します。このセラミックロッドは主に装置内部の光検出部品やウェーハ境界構造を固定するために使用され、精密な支持、位置決め校正、隔離および保護において中心的な役割を果たし、高速往復運動中の装置の構造的安定性を確保します。
